RT70V探针法测量仪
产品型号: RT70V系列
产品特点: RT70V探针法测量仪
它是测量仪(RT-70V)和测量台的组合测量仪。
RT70V探针法测量仪 的详细介绍
RT70V探针法测量仪
测量仪:RT-70V>
使用JOG拨盘,厚度,温度,PN输入(RT-70V测试仪),易于操作
自检功能,自动量程切换,4种测量模式
具有厚度/温度补偿功能(用于硅)
<测量阶段>
*根据目的和用途,可以从以下选择测量阶段。
(1)RG-7C [产品图片左上]:电机自动上下探针台
(2)RG-5 [产品图像左下方] :带手动手柄的探针上下平台
(3)RG-7S [产品图片右上]:用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台
(4)TS-7D [产品图像右下] :便捷的探头类型*平台板是可选的。
测量规格
测量目标
与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
导电薄膜相关(金属,ITO等)
扩散样本
硅基外延离子注入样品
其他(*请与我们联系)
测量尺寸
*组合测量取决于舞台类型。
圆形:〜300mm(12英寸),方形:〜730x920mm,可广泛使用。
测量范围
[电阻(电阻率)]1μ〜300kΩ・ cm
[板电阻] 5m〜10MΩ/ sq
测量仪:RT-70V>
使用JOG拨盘,厚度,温度,PN输入(RT-70V测试仪),易于操作
自检功能,自动量程切换,4种测量模式
具有厚度/温度补偿功能(用于硅)
<测量阶段>
*根据目的和用途,可以从以下选择测量阶段。
(1)RG-7C [产品图片左上]:电机自动上下探针台
(2)RG-5 [产品图像左下方] :带手动手柄的探针上下平台
(3)RG-7S [产品图片右上]:用于玻璃基板/薄膜样品的XY工作台
(4)TS-7D [产品图像右下] :便捷的探头类型*平台板是可选的。
测量规格
测量目标
与半导体/太阳能电池相关的材料(硅,多晶硅,SiC等)
新材料/功能材料(碳纳米管,DLC,石墨烯,银纳米线等)
导电薄膜相关(金属,ITO等)
扩散样本
硅基外延离子注入样品
其他(*请与我们联系)
测量尺寸
*组合测量取决于舞台类型。
圆形:〜300mm(12英寸),方形:〜730x920mm,可广泛使用。
测量范围
[电阻(电阻率)]1μ〜300kΩ・ cm
[板电阻] 5m〜10MΩ/ sq