RG-100PV平板电阻薄层电阻测量半自动装置
产品型号: RG-100PV
产品特点:平板电阻薄层电阻测量半自动装置
玻璃基板上薄膜的四探针法半自动测量仪
XY轴机构台
平面内多点测量配备了均匀螺距或随机螺距设置选择以及2-D / 3-D映射软件。

平板电阻薄层电阻测量半自动装置 的详细介绍
平板电阻薄层电阻测量半自动装置
测量规格
测量目标
与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
扩散样品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
硅基外延离子注入样品
与化合物半导体有关的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
其他（*请与我们联系）
测量尺寸
最大300 x 300毫米（选件;最大500 x 500毫米）
测量范围
[电阻（比电阻）] 1m至200Ω·cm 
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq（选件；〜10MΩ/ sq）
测量规格
测量目标
与半导体/太阳能电池相关的材料（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
扩散样品硅基薄膜（LTPS等），IGZO
硅基外延离子注入样品
与化合物半导体有关的（GaAs，Epi，GaN，Epi，InP，Ga等）
其他（*请与我们联系）
测量尺寸
最大300 x 300毫米（选件;最大500 x 500毫米）
测量范围
[电阻（比电阻）] 1m至200Ω·cm 
[片电阻] 1m至1,000kΩ/ sq（选件；〜10MΩ/ sq）