PMS颗粒仪 HPGP-101-C PDS-E高压气体探测器
PMS颗粒仪 HPGP-101-C PDS-E高压气体探测器
高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。
HPGP与大多数无毒气体兼容，可用于许多反应性气体监测应用中
PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。
优点
降低成本
· 工艺气体分配系统的速度限定
· 在影响产量之前测定气体中的颗粒。
· 与氧，氢和大多数无毒气体兼容
改进过程控制
· 验证气体质量
· 检测过程是否异常
· 量化系统变化的影响
· 准确的粒度
· 便利的网络数据管理软件，用于全面数据存储，管理，报告和警报
可靠性
· 被动腔式设计不需要经常维护
· 与其他系统不同，HPGP不需要监测流体
· 惰性气体吹扫，确保安全
· 如气体泄漏到安全舱，切断电源
功能
· 0.1 SCFM时具备0.1μm灵敏度
· 8个粒子通道
· 40-150 psig的线压
· 被动激光腔
· 并行处理阵列检测系统
· 安全舱
· 同时进行双重探测操作
· 氧气和氢兼容性
应用
· 气体分配系统的限定
· 过程气体监测
· 反应性气体监测
