TVF-110小型立式实验堆
产品型号: TVF-110
立式实验堆
手动提升立式实验炉，适用于小至3英寸晶圆的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手动控制）适用于管式炉，扩散炉，热CVD。
主要用途
小样本基础实验在大学/公司实验室中的使用
半导体，太阳能电池，燃料电池，电子基板等的热处理
基础实验：用于氧化扩散炉，LPCVD等的简单热处理实验。

小型立式实验堆 的详细介绍
小型立式实验堆
 手动提升立式实验炉，适用于小至3英寸晶圆的小基板
cost低成本醉低要求的配置（手动控制）适用于管式炉，扩散炉，热CVD。
主要用途
小样本基础实验在大学/公司实验室中的使用
半导体，太阳能电池，燃料电池，电子基板等的热处理
基础实验：用于氧化扩散炉，LPCVD等的简单热处理实验。
特性
用户友好，易于手动操作
简单的配置非常适合基础实验应用
我们可以提供低成本和醉低要求规格的设备。
可以根据要求添加功能，我们将每次定制。
*作为标准配置，只有炉体（包括基座和垂直升降机构）和温度控制单元可用。
*不包括气体引入/排出系统，气体压力控制，冷却水控制等。我们将根据要求添加它。
   
      
      
  主要规格

[电炉部分] 醉高工作温度  醉高1200℃（*加热器温度，正常醉高1100℃）醉高950℃（板温） 
加热器 
 地暖1区1.5KW
  
炉 
 陶瓷成型品Φ290x 300L（分体式） 
  
案件  铝壳开合式 
热电偶  用于控制，过热检测：K型护套热电偶（2对） 
温度测量用热电偶  Φ0.65mmK线型带绝缘管1500L 
温度控制  PID温度控制器可控硅控制 
   
      
  
[炉芯管/石英夹具部分] 芯管  Φ100xΦ95x 470L毫米 
缓冲 
 234H xΦ86屏蔽x 2层
  
感受器 
 Φ86x t5毫米（带上下杆）x 2至3步
  
热电偶保护管  Φ8xΦ6x 660L毫米 
   
      
  
[基座/底座法兰向上/向下] 驱动系统  手动型（旋转手柄） 
中风 
 Max300mm（基座）Max500mm（基础法兰）带限位器，带有任意垂直限位器